1.極低的蒸汽壓力是真空泵油較重要的性能。 真空泵所需的真空度為1.33×10-4Pa（10-6mmHg），所以高要求達到1.33×10-4Pa（10-6mmHg），因此，真空泵油的蒸發量很低。 通常使用基于石蠟的窄切潤滑劑。 硅油或其它合成油也可用于擴散真空泵。

2.適當的粘度溫度特性和良好的粘度真空系統利用泵腔內容積的連續變化形成排氣效果。 潤滑油應具有適當的粘度和良好的粘度-溫度特性。

3. 萊寶真空泵油熱氧化穩定性發展迅速。 由于滑板與泵體之間的高速摩擦，油溫升高，油的熱量和氧化作用加劇。 擴散泵通常在高環境溫度下工作，增加系統中的蒸汽壓力，降低真空度。 因此，真空泵油必須具有良好的熱氧化穩定性。

4.良好的耐腐蝕性和抗乳化性。 如果真空泵吸入腐蝕性氣體，會腐蝕泵中的金屬零件和油，引起化學變化。 此外，吸入空氣中往往含有水蒸氣，會導致真空泵油乳化，因此需要良好的耐腐蝕性和抗乳化性。 真空泵油在真空脫水過程中的乳化作用更為突出。

5.高閃點要求真空泵不攜帶輕組分，以免影響油的飽和蒸汽壓力。

6.降低極限壓力是了解真空泵油在較低真空極限壓力下的極限壓力的重要性能指標。 結合以上六個指標，我們可以了解萊寶真空泵油質量的三個重要參數。 1.真空泵油的閃點越好，油分子的揮發性越小，并保持極限壓力。 2.低粘度優于抗乳化(高工作環境溫度)。3.合成油比不含天然油的油具有更好的耐熱性和抗氧化性。