1、真空設備設計中的注意事項

1、真空設備的總允許漏率根據設備的工藝要求確定，每個組件的較大允許漏率根據總漏率確定。

2、根據設備的較大允許泄漏率等指標，初步確定設計階段將采用的泄漏檢測方法，并將其作為指導調試驗收的基本原則之一。

3、根據設備或部件的較大允許泄漏指標，確定設備的密封、連接方式和整體加工精度，以及可滿足要求的動態密封形式。例如，法蘭用金屬或橡膠密封。

4、在設計容器結構強度時，應考慮被檢件的耐壓性和結構強度。

5、在選擇零件結構材料時，考慮是否使用可能被工作介質和泄漏氣體腐蝕而損壞的材料。

6、在結構設計中，應在容器或系統上留下必要的泄漏檢測儀器備用接口，以便在設備組裝和調試過程中使用泄漏檢測。特別是對于大型、復雜的管道系統，通常需要采用分段泄漏檢測方法，因此應在管道上設置分段隔離閥，并在每個隔離段上預留泄漏檢測儀器接口。

7、在設計零件結構時，盡量避免使用可能干擾泄漏檢測工作的設計方案。例如，真空室內的螺釘孔不能采用盲孔的形式，因為螺釘安裝后，螺釘孔內剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛擬泄漏。從而延長系統的抽氣時間，干擾泄漏檢測的正常進行。如圖所示，真空泄漏檢測中不應出現的結構。

8、與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成“寄生容積”內的氣體會形成虛漏；而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無 常檢漏。

9、在設計焊接結構時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。

二 真空設備制造過程中的泄漏檢測

在設備加工階段，有必要遵循加工工藝（特別是焊接工藝），及時檢查半成品零件的泄漏情況。對于制造后無法接觸、檢漏或修復的零件，應嚴格檢查焊縫質量。如果不合格，應及時重新焊接、重新焊接和重新檢測。只有在滿足要求后才能進行下一道工序。特別是對于大容器的組裝焊接和加工，中間過程的泄漏檢測非常關鍵。必要時，應設計和制造專用泄漏檢測工具（如泄漏檢測箱、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，較好先組裝焊接內壁并檢查泄漏情況，確認無泄漏后再組裝焊接外壁。同樣，對于室壁外有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先嚴格檢查室壁的泄漏情況，然后才能覆蓋外部結構。

如果條件允許，所有真空法蘭及其接管（包括真空室法蘭和室壁）都應采用焊接后處理法蘭表面的工藝。即使在安裝調試階段可能滿足密封要求，加熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，導致法蘭變形和密封性能下降。

在加工制造過程中，嚴格執行真空操作衛生和操作規范，對提高真空設備和系統的氣密性也很有幫助。焊接坡口拋光成型后，需要清洗和及時保護，有利于提高焊縫的氣密性。加工后的零件應采取移動和靜態密封面的保護措施，嚴格防止在儲存、搬運和裝配過程中發生碰撞和劃傷。使用焊接波紋管、金屬、陶瓷或玻璃密封件、玻璃設備等易損件時，應更加小心，特別是避免預檢漏損壞。

三、真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟

安裝調試階段是真空設備或系統泄漏檢測的主體。如果設備焊縫的氣密性已通過加工階段的泄漏檢測得到保證，則在設備安裝調試過程中，檢查和保證連接部件的密封性是泄漏檢測的重點。包括各管道和部件之間的法蘭連接和移動密封件等關鍵可疑部件。如果焊縫和連接部件同時泄漏，泄漏檢測的工作量和難度都會增加。大型、復雜的真空設備較好采用分段泄漏檢測，每個部件，連接部件和焊縫一次泄漏檢測，滿足要求后安裝下一個部件。由于所有部件組裝后的泄漏檢測，不僅懷疑部件太多，而且可能同時泄漏多個泄漏，給整體泄漏檢測帶來了很大的困難。

四 真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢設備的結構組成和組裝工藝。掌握設備要求，找出檢漏的關鍵可疑部位。

2、具 是否需要根據規定的較大允許漏率找到漏洞 從經濟、快速、可靠的原則出發，正確選擇檢漏方法或儀器，準備檢漏所需的輔助設備，制定可行的檢漏程序。

3、清潔被檢件，取出焊渣和油垢，然后根據真空衛生條件進行清潔和干燥。對于要求較高的小型設備。清洗后，可通過真空干燥箱烘烤。清洗后，不僅可以避免漏孔被污垢、油和有機溶液堵塞，還可以保護泄漏檢測儀器。

4、校準所選檢漏方法和檢漏設備的檢漏靈敏度，確定檢漏系統的檢漏時間。

5、采用真空檢漏法時，為提高儀器的靈敏度，應盡可能將被檢件抽到更高的真空中。

6、在允許的前提下，應盡可能優先考慮經濟和現場合格的泄漏檢測方法。

7、采用氦質譜檢漏設備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件時，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。

8、及時修復和堵塞已檢測到的大漏孔，然后檢測小漏孔。9.檢查檢測和修復的漏孔，確保檢測結果符合要求。

五、使用真空設備時的注意事項

在真空設備的使用和運行階段，設備的氣密性往往會下降，整體泄漏率也會上升，這是影響真空設備正常運行的主要原因。造成這種現象的原因包括：機械振動松動連接部件；經常拆卸部件的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷熱沖擊而變形和疲勞損壞；部分部件或材料因工作介質腐蝕而損壞；部分漏洞被水、油或其他污垢堵塞；應力集中引起裂紋。

正確使用真空設備時，應將泄漏檢測納入真空設備的日常維護和管理規范，如定期進行靜壓檢驗。操作人員應及時解決設備氣密性下降問題，根據設備使用情況和故障現象分析泄漏原因，采取適當的泄漏檢測方法，檢測泄漏位置，及時修復。不要等到設備出現各種泄漏，沒有 工作時檢漏維修。

此外，準備充足的密封備件，定期更換易損件（而不是問題后），也是做好真空泄漏檢測，確保設備正常運行的主要措施。