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?溫度對真空泵精確測量? 的色直空規管具體應用溫度與原廠校正溫度不同樣,規管溫度與被測系統溫度不一樣,被測系? 溫度不勻稱或轉變,均會造成被測系統中氣體溫度轉變,危害真空泵精確測量結果,引入數據誤差? 至產生顯著不正確。設規管原廠校正時的溫度為T。(一般為293K),規管當場應用溫度為T1? (企業為K),規管的讀值壓力數值pm(企業為Pa),相匹配氣體的真正壓力和氣體分子數相對密度? 各自為戶和m(企業為m-3),這時被測超濾裝置中的溫度為T2,氣體壓力和分子結構相對密度為p? 和n。在不一樣的壓力范疇內,能夠按下列公式計算開展調整。? (1)高壓力(A<d)時,系統軟件平衡條件是各部壓力相同,即
(10-45? 選用立即測壓力的立即精確測量真空計時,規管溫度、被測系統溫度及規管校正溫度不盡相同? 不造成出現偏差的原因,p1=Pm,不用調整。而選用測相對密度的等效替代法真空計(導熱真空計和水解? 務必調整到校正溫度。? 真空計)測
(10-46)? (2)低壓力(X>d)時,系統軟件均衡時多處的壓力和相對密度也不相同,只是
p? 用測壓力的立即精確測量真空計精確測量時,p=pm,并按上式開展調整。用測相對密度的等效替代法
10-47)? 真空計精確測量時,則要調整到規范溫度,這時有
TPm和P2
(10-48)? (3)中等水平壓力~d時,p/Pp2的值處在1和√T1/T2值中間。壓力愈低,會近
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