設(shè)計方案一套EZD1-60×100型高矮雙用真空電子束焊機真空系統(tǒng)

? 真空電子束焊接的基本概念是在真空標(biāo)準(zhǔn)下,從射線管發(fā)送的離子束在髙壓(通? 30~200KV)加快下,根據(jù)電磁透鏡聚焦點成高效率能量相對密度的離子束,當(dāng)離子束負(fù)電子產(chǎn)品工件? 電子器件的能量轉(zhuǎn)化為能源,使產(chǎn)品工件原材料被熔融而完成電焊焊接的。其特性是它的比能量大,較? 達(dá)到106~108W/cm2,比一般氬弧焊高100~1000倍;焊接深長寬比達(dá)到20:1(一般的氬弧焊? 1.5:1);并且電焊焊接是在真空自然環(huán)境下開展,當(dāng)真空數(shù)為1Pa時,殘留汽體中所存有的O? N2的量要比純凈度為99.9%的稀有氣體也要少,能夠確保焊接不被汽體環(huán)境污染;電焊焊接標(biāo)準(zhǔn)可? 精準(zhǔn)操縱。因為這種焊接工藝的眾多特性,因而,尤其合適于以鋁合金為原材料的航天飛機所? 套的然料儲箱和液化氣瓶焊接的電焊焊接。而EZD1-60×100型真空電子束焊機更是因此目? 在汲取世界各國類似真空電子束焊機優(yōu)勢的基本上建立了新的構(gòu)造計劃方案而研制的。在其中? 機的真空系統(tǒng)便是依據(jù)真空設(shè)備所遵照真空系統(tǒng)方式而精心策劃的? ①真空系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)? a.真空室規(guī)格(mm):長×寬×高為2000×1600×2000。? b.真空室極限工作壓力(Pa):6.67×10-3。? C.壓力(Pa):高真空時為2.67×10-2;? 低真空時為2.67。

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d.抽真空時間? 高真空情況:當(dāng)擴(kuò)散泵加熱爐已加溫情況下,真空室工作壓力從空氣(105Pa)做到2.67? 10-2Pa,排氣管時間為15min? 低真空情況:單用羅獲泵、真空泵抽真空,從空氣(10Pa)做到267Pa時,排氣管時同是12m? ②真空系統(tǒng)設(shè)計方案測算

75Pa·L/s? a.明確該設(shè)備造成的汽體量? 二是系統(tǒng)軟件的國供氣量Q,經(jīng)評測為758×10=1P2D:三是真空室原材料(碳素鋼)表層出供氣量? Q3,經(jīng)測算為4.387Pa·L/s。? 總的汽體量Q=Q1+Q2+Q3=75+7.59×10-1+4.387=80.146Pa·L/s? Pa壓力(Pw)所必須的真空室進(jìn)風(fēng)口的有? b.明確該設(shè)備真空室中維持2.67×10? 效抽速S? 它的計算方法為

Q? 將Q、Pw值帶入得

Q
80.146? Pw2.67×10-2=3001L/s? 為了更好地靠譜考慮,將S值適度擴(kuò)大,按20%擴(kuò)大測算,具體規(guī)定的合理抽速為3602L/s。? c主閥的挑選以及抽速測算? 依據(jù)規(guī)定的壓力Pw和應(yīng)用規(guī)定,挑選油擴(kuò)散泵為主導(dǎo)泵。其真空抽氣機組如圖所示3? 從圖312得知,擴(kuò)散泵上邊安裝有600單百葉窗簾障板;障板上邊安裝有GDDJ600? 電雙用板聞,前面裝有兩部2X70型真空泵構(gòu)成真空發(fā)電機組

a)依據(jù)需要的合理抽速,充分考慮再加上障板、隔板閥后的泵的抽速損害,暫選抽速為? 17000L/s的K-600T擴(kuò)散泵開展試算。? b)測算擴(kuò)散泵與真空室排汽管道的流導(dǎo),為認(rèn)證選K-600T擴(kuò)散泵是不是適合。? 總的流導(dǎo)C由高真空管路C1、障板流導(dǎo)C2、隔板閥流導(dǎo)C3串連構(gòu)成
明確汽體沿管路的流動性動態(tài)性,當(dāng)直空室壓力Pw=2.67×10-Pa,擴(kuò)散泵人口壓力? 很低時,故管路出入口工作壓力能夠忽視。管路中的均值工作壓力p=Pw/2=1.33×10=Pa,這時d=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d為管道直徑),由此可見為分子結(jié)構(gòu)流? 在分子結(jié)構(gòu)流情況下,高真空管路流導(dǎo)C1=11.64Aa1/s,A為管路截面.。為流導(dǎo)指數(shù)。當(dāng)? 1/d=12時、得。一05,帶入C式得C1=1630A,C1為15014C1為120
總流導(dǎo)C=C1C1+CC1+C(c1=4830.61? c)測算擴(kuò)散泵的抽速S、擴(kuò)散泵的抽速Sn由真空室需要的合理抽速S和總流導(dǎo)C決策,計算方法為
由此可見,挑選K600T擴(kuò)散泵是適合的,此泵在10-2-10-Pa范疇內(nèi)的均值抽速為? 空度p=7×10=Pa,能考慮該設(shè)備真空系統(tǒng)為2.67×10-Pa的? 規(guī)定,而該泵的較好壓力在1×10-2-1×10-4Pn,能考慮該設(shè)備壓力Pw為2.6710-Pa的規(guī)定? d.配泵測算(前面泵的配備)? 前面泵合理抽速S經(jīng)測算為11.01L/s,前面管路流導(dǎo)Cn經(jīng)測算為731.8L/s黏滯流? 從而獲得前面泵的抽速為S。=SC/(Cn-Sp)(L/s),一般將S1增大1.5-3倍后,明確? 前面泵抽速,取3倍,S。=1.6×3-33.5L/s,現(xiàn)選兩部2X70型真空泵徹底滿足要求? 以外,配兩部2X70泵也是為低真空系統(tǒng)中21-1200厘羅茨真空泵作前面泵考慮到的(規(guī)定前面泵? 抽速為兩部2X-70型真空泵)
c.測算抽真空時間? a)不考慮到管路的容量,其真空室的容量為64001/s,壓力Pw=2.67×10-2Pa首先用兩部2X-70型真空泵從空氣抽中13Pa,其計算方法為? (-(2. 3K V/Sp)lg(P/P)(min)
式中K修正系數(shù),取2
起止工作壓力,取1×105Pa
P—停止工作壓力,取13Pa? 帶入公式計算t=13.6min,一般粗?jǐn)D時間不超10~30min,具體開真空泵不上10min真? 空度達(dá)到20Pa,從而選兩部2X-70型真空泵是有效的。? 測算從13Pa到2.67×10-2Pa的抽真空時間,主要是考慮到原材料表層排氣的危害,1h后真空? 房間內(nèi)壁、夾層玻璃、硅膠密封圈、錫墜表層原材料總的出供氣量4.387Pa·L/s(在其中真空室內(nèi)面積? 為208×103cm2,企業(yè)排氣率7.73×10-Pa/s·
t1+t2=6.5min,設(shè)? 那樣從開真空泵至羅茨真空泵工作中,做到2.67Pa的排氣管時間為? 計指標(biāo)值為12min。由此可見,低真空系統(tǒng)的配備是有效