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1超高真空油擴散泵的極限壓力? 超高真空油擴散泵極限壓力就是指沒有外界氣動閥門的標(biāo)準(zhǔn)下,泵長期性運行能夠做到? 的較少壓力(即真空泵本身能夠做到的較少壓力),這時泵的泵效為零。實際上,? 測量擴散泵極限壓力時,必須安上按國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的測試罩,并按照要求程序流程開展? 測量,這時測試罩內(nèi)的汽體負荷,將危害到評測的極限壓力值。? 泵的極限壓力能用下式表明:
P=P+QF+Oc

式中p—擴散泵的極限壓力,Pa;? P—測試罩壁溫下泵油的飽和蒸氣壓,Pa? S擴散泵的泵效,L/s;? Q-泵的反流氣體壓力,Pa·L/s;? Q測試罩內(nèi)氣動閥門的氣體壓力(出供氣量、漏汽量

從公式計算(21)能夠看得出,測試罩的Qc值,可根據(jù)超高真空焊接及密封性構(gòu)造設(shè)? 計、激光焊接加工加工工藝及嚴苛的測漏標(biāo)準(zhǔn),將漏汽量少到規(guī)定值下列;針對原材料的出? 供氣量,可選用300℃之上高溫烤制和持續(xù)長期性抽真空的方式,以減少原材料的排氣速? 率。若不考慮到測試罩、人口數(shù)量處泵壁的漏汽、原材料放空氣對極限壓力的危害,基礎(chǔ)理論上影? 響超高真空油擴散泵極限壓力的關(guān)鍵要素是泵油的飽和蒸氣壓和泵的反流(泵的返? 流包含油蒸汽和被縮小的汽體反流)。他們和泵油的采用、泵油的分餾設(shè)計方案、泵油? 的防返油構(gòu)造及其泵的噴管等比級數(shù)等相關(guān),因而,采用超高真空油擴散泵時,應(yīng)留意? y下泵的特性特性。

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