擴(kuò)散泵油對(duì)擴(kuò)散泵性能的危害尤為重要。理想化的擴(kuò)散泵? 敞泵油? 油應(yīng)飽和蒸氣壓低化熱低、工作中平穩(wěn)、高溫下不溶解、不消化吸收汽體、有機(jī)化學(xué)性能平穩(wěn)(兩者之間觸碰的原材料? 不了反映)、安全性無(wú)毒性,可是直到現(xiàn)階段,都還沒(méi)研制開發(fā)出這類理想化的切削液。液態(tài)水銀是? 唯一的能用做泵液的氫氧化物物質(zhì),它具備有機(jī)化學(xué)性能平穩(wěn)、不溶解、不融解汽體、氣化? 熱小、加溫輸出功率劣等優(yōu)勢(shì),較大 的缺陷是蒸汽壓過(guò)高,室內(nèi)溫度下(300K)的飽和狀態(tài)蒸? 標(biāo)準(zhǔn)氣壓達(dá)到.5×10-Pa,務(wù)必應(yīng)用冷阱收集才可以用以高真空、極高真空。選用液態(tài)氮? 冷阱,也要考慮到液態(tài)水銀在冷阱上的冷藏難題,假如長(zhǎng)期性持續(xù)幾日運(yùn)行,就很有可能將加熱爐? 中的液態(tài)水銀耗光而停止工作。此外,液態(tài)水銀有有毒,又能與一些金屬?gòu)?fù)合材料起反映,產(chǎn)生? 非常大的安全防范難題,現(xiàn)階段,除開一些科學(xué)研究組織在中小型夾層玻璃系統(tǒng)軟件選用液態(tài)水銀擴(kuò)散泵以? 外,全部金屬材料油擴(kuò)散泵所有選用石油分餾氮氧化合物和合成機(jī)油做為泵的切削液。? 當(dāng)代擴(kuò)散泵的切削液有石油分餾氮氧化合物、脂類、聚硅氧烷及醚類。石油分餾的氮氧化合物油歸屬于輕原料油,生產(chǎn)制造低成本,質(zhì)優(yōu)價(jià)廉,但耐熱性、抗氧化性較弱,蒸汽壓較高,僅適用高真空泵。四苯基四羥基三硅氧烷(DC704)、五苯基羥基三硅氧烷(DC705)、混和五環(huán)聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟? 甲基丙烯酸酯( Fomblin Y vac)是現(xiàn)階段運(yùn)用數(shù)較多的極高真空擴(kuò)散泵合成機(jī)油。? 表22得出了極高真空用擴(kuò)散泵油的性能主要參數(shù)

高真空擴(kuò)散泵油的另一個(gè)關(guān)鍵性能主要參數(shù)是它的催化裂解性能。泵工作中在高溫下? 會(huì)產(chǎn)生裂化,抗氧化能力差的泵油形成的高蒸汽壓裂解物,危害泵的極限工作壓力。若
因?yàn)榕既皇鹿?高溫泵油短期內(nèi)曝露空氣時(shí),抗氧化能力強(qiáng)的泵油能迅速修復(fù)原來(lái)性? 能,而抗氧化性會(huì)差的泵油,性能受到影響,乃至損毀。極高真空用擴(kuò)散泵、必須長(zhǎng)期性? 持續(xù)運(yùn)行的擴(kuò)散泵及其日循環(huán)系統(tǒng)頻次高的真空機(jī)器設(shè)備,都應(yīng)選用催化裂解小、抗氧化性能? 高的甲基硅油、聚苯醚等合成機(jī)油? 精確測(cè)量泵油的抗氧化性能,可在真空系統(tǒng)軟件內(nèi)短期內(nèi)不斷充進(jìn)空氣,直至泵不可以正? 常工作中時(shí)已經(jīng)。擴(kuò)散泵油的抗氧化性能試驗(yàn)頻次見(jiàn)表2-3。
從表2-3中數(shù)據(jù)能夠看得出,甲基硅油的抗氧化性能出色,安全性性能好, Solbrig曾? 將系統(tǒng)軟件內(nèi)氧氣工作壓力提升到1/2atm(1atm=101325Pa),應(yīng)用DC705和五環(huán)聚苯醚? 這二種油,都不容易造成發(fā)生爆炸。除此之外,甲基硅油耐溫性好、抽水蒸汽工作能力強(qiáng)、返油率低? 價(jià)錢適度,是極高真空油擴(kuò)散泵較為理想的切削液。甲基硅油關(guān)鍵的缺陷是在電子器件、離? 子負(fù)電子標(biāo)準(zhǔn)下粘附在電級(jí)上的浮油會(huì)造成固態(tài)匯聚硬膜,危害電子元器件、電級(jí)的性? 能,并使真空水解規(guī)管數(shù)據(jù)誤差擴(kuò)大。甲基硅油的爬移工作能力強(qiáng),非常容易環(huán)境污染系統(tǒng)軟件。不可以使? 用甲基硅油的系統(tǒng)軟件中,可改成五環(huán)聚苯醚、癸二酸氫酯等油替代? 全氟甲基丙烯酸酯油( Fomblin)是由碳、氟和氧構(gòu)成的化學(xué)物質(zhì),不過(guò)氧化物和硅,具備低? 的蒸汽壓和優(yōu)良的潤(rùn)化特點(diǎn),耐熱性更強(qiáng),熱裂解時(shí)既不容易形成氮氧化合物和氫,? 也不會(huì)形成硅化物絕緣層膜,與大部分腐蝕化工品不了反映,但在同樣加溫輸出功率條? 件下,泵效較五環(huán)聚苯醚低,而且價(jià)錢偏貴。其關(guān)鍵物理學(xué)性能見(jiàn)表2-4。
無(wú)論應(yīng)用那一種切削液,擴(kuò)散泵工作中時(shí)必須需注意不可以放進(jìn)空氣,不然,氧? 化過(guò)的泵油,危害泵的極限工作壓力。比較嚴(yán)重空氣氧化的油,只靠泵本身的分餾功效,不可以恢? 復(fù)它的抽真空性能,必須完全清理擴(kuò)散泵全部零件,所有拆換新油。常見(jiàn)清潔液,對(duì)? 空氣氧化比較嚴(yán)重的泵油可先后應(yīng)用十氫萘、甲苯和醫(yī)用乙醚開展清理或是應(yīng)用三氯乙烯、甲苯? 和醫(yī)用乙醚。空氣氧化較輕則,用甲苯、醫(yī)用乙醚就可以清理整潔。聚苯醚油可溶解三氯乙烯,? 因?yàn)槿纫彝槎靖弊饔幂^三氯乙烯小,清理聚苯醚油時(shí)可改成三氯乙烷、甲苯和醫(yī)用乙醚? 全氟甲基丙烯酸酯油務(wù)必用氧化鉍劑(如三氯三氟己烷或全氟烷)開展清理。

真空泵檢修，深圳市真空泵