??? 渦輪分子泵壓縮比? 式(2-21)說明較大 壓縮比規(guī)定順向和反方向傳送幾率之比理應(yīng)較大 。克魯格和? 夏皮羅用蒙特卡洛法測算12和2與葉片視角a、葉片間距和旋長之比5/b及其葉? 片與汽體分子結(jié)構(gòu)較可幾速率比C=w/√2RT/M的函數(shù)關(guān)系見圖2-20,并得出了零流? 量標(biāo)準(zhǔn)下單極渦輪葉片的壓縮比的測算值。在s/b≤1.5直線地區(qū)，壓縮比的多數(shù)? 值與葉片速率比類似呈線性相關(guān)

(222)? exp/v√M? K

aRT? 由式(2-22)能夠看得出，壓縮比與葉片速率vBM2呈指數(shù)值關(guān)聯(lián)。對氫、氦等輕? 的汽體壓縮比不大，對氬等重的汽體壓縮比大。若葉片速率做到400M/s時，對氬? 和氫的速率比各自為1和0,3。此標(biāo)值，在圖220(c)a=30°曲線圖中相匹配的壓縮比? 各自為對氫為1.6,對氬為4。葉片的角速度與葉片半經(jīng)、電機(jī)轉(zhuǎn)子的角頻率呈正比例? (vB=ru),葉片頂端角速度大，挨近電機(jī)轉(zhuǎn)子管理中心，角速度和葉片間距與弦長之比均? 小。從葉片頂端到傳動軸管理中心地區(qū)，分子泵的壓縮比慢慢減少。因而設(shè)計(jì)方案分子泵的開? 般在半經(jīng)的1/3處。渦輪分子泵在零總流量的較大 壓縮比只產(chǎn)生不在抽真空? 槽深層? 的情況下，在具體工作中時不太可能保證。而公式計(jì)算(2-22)得出的壓縮比與葉片速率、幾? 何樣子及含量的指數(shù)值關(guān)聯(lián)依然恰當(dāng)。評測的K值與M平方根關(guān)聯(lián)，示于圖? 2-21中。

壓縮比試驗(yàn)曲線圖的測試標(biāo)準(zhǔn)是較先將分子泵抽中極限工作壓力，關(guān)閉前級保持泵，? 隨后將汽體根據(jù)溢流閥放進(jìn)分子泵的前級，慢慢上升前級工作壓力，測到的前級工作壓力與
進(jìn)口工作壓力之比做為泵的壓縮比。伴隨著前級工作壓力不? 斷上升，挨近前級的葉片組較先進(jìn)到過渡流，進(jìn)? 入黏滯流范疇時汽體摩擦阻力擴(kuò)大，使電機(jī)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速比減少，壓縮比快速減少。渦輪分子泵的壓縮比與前級工作壓力的關(guān)聯(lián)曲線圖見圖2-22。壓縮比曲線圖樣子類似擴(kuò)散泵的極限工作壓力曲線圖。一般將壓縮比減少20%做為分子泵極限前級工作壓力，超出極限工作壓力時，泵的壓縮比快速衰減系數(shù)。過高的前級工作壓力(比如忽然曝露空氣),很有可能使鄰近葉片因機(jī)械設(shè)備撞擊而毀壞

渦輪分子泵抽速? 在分子結(jié)構(gòu)流范疇內(nèi)，因?yàn)槌錾涞奖眠M(jìn)風(fēng)口的氣

0

10? 10

10? 體分子數(shù)與分子結(jié)構(gòu)的熱運(yùn)動速度正相關(guān)，因此 ，葉

前級工作壓力? 片的凈抽速與撞擊分子結(jié)構(gòu)的含量不相干，也與工作壓力
圖2-22渦輪分子泵的縮小? 不相干，其較大 抽速Smx與泵的特點(diǎn)幾何圖形樣子要素

比與前級工作壓力的關(guān)聯(lián)曲線圖? G和葉片圓上速率vB的相乘正相關(guān)。

2-23)? max~UBG(中)? 較好設(shè)計(jì)方案的渦輪分子泵的抽速大概正比例于轉(zhuǎn)速比。選用新材料，渦輪分子泵的? 評測抽速與被抽汽體相對性分子質(zhì)量的關(guān)聯(lián)示于圖223。其對輕汽體的抽速要比例? 汽體的抽速稍高一些。渦輪分子泵抽速曲線圖的髙壓端，抽速隨進(jìn)口工作壓力上升而降? 低。從抽速的平整一部分到前級泵抽速的銜接區(qū)，一般要跨過三個量級(10-5~? 10-2Pa)。當(dāng)入口工作壓力上升到汽體分子結(jié)構(gòu)的平均自由程低于出入口葉片盤的葉片中間? 1/10間距時，抽真空特性剛開始受到影響。擴(kuò)大渦輪分子泵前級泵的抽速，可改進(jìn)渦輪分? 子泵在高工作壓力端抽速曲線圖，圖224中曲線圖I、Ⅱ、Ⅲ各自為配備不一樣抽速的前? 級泵的渦輪分子泵在高工作壓力端抽速曲線圖。一般渦輪分子泵與前級泵組成時，二者? 中間的抽速比K=S分/S前在50~100中間，若用以抽除氡氣，必須配備更高的前? 級泵，針對大中型渦輪分子泵而言，采用羅茨真空泵真空泵抽真空級組是較經(jīng)濟(jì)發(fā)展的前級抽? 氣系統(tǒng)軟件。
圖25所顯示為典型性的渦輪分子泵抽速曲線圖，曲線圖樣子與擴(kuò)散泵的抽速曲線圖相? 似。分子泵的抽速是因?yàn)槿~片速率和汽體分子結(jié)構(gòu)抵達(dá)并進(jìn)到葉片空隙的流導(dǎo)的相互作? 用所決策的，在分子結(jié)構(gòu)流范疇內(nèi)，則抽速有一跨過接近五個量級的平整一部分。對氫? 的抽速稍大的緣故是因?yàn)楹坎灰粯拥钠w，在泵的通道葉片的流導(dǎo)和傳送幾率不? 同。針對除氫之外的別的汽體，抽速基本相同，由于流導(dǎo)反比例于含量的平方根，? 而傳送幾率大概正比例于含量的平方根，使二者互相相抵

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