?????? 彎注抑制規如圖4-3所顯示，由負極、電子器件加快柵極(加快極)、離子聚焦點極、? 輔助陽極氧化、抑制極、離子搜集極、內偏轉極、外偏轉極和屏蔽罩構成。由負極、電? 子加快柵極組成規的水解系統和由屏蔽罩抑制極和離子搜集極組成離子搜集系統。? 在水解系統和離子搜集系統中間，設定了一個90°離子偏轉系統，偏轉系統包含聚? 焦極，內、外偏轉極。? 規的原理為：規管中被測汽體分子結構在柵極框被水解為正離子，離子被離? 子聚焦點極引出來并聚焦點后經靜電感應偏轉系統偏轉90°后進到離子搜集系統。該構造使? 加快極造成的軟X射線不可以立即照射搜集極的表層，另外x放射線的反射面一部分? 也因歷經數次往返才可以到達而大幅變弱。此外，因為有屏蔽罩和抑制極的存有，? 還能夠對小一部分軟X射線造成的光電流開展抑制，使光電流的危害進一步減少? 在理論上彎注抑制規的精確測量低限比抑制規低2個量級，做到10-12Pa。但因為? 高溫鎢絲存有，負極的蒸汽壓和排氣速度都很有可能危害低于10-1Pa工作壓力的得到 。? 除此之外，極間電級走電及弱電流量精確測量等難題，彎注抑制規的具體精確測量低限為? 10-1Pa。輔助陽極氧化的功效是供偏轉電級開展電子器件負電子除氣而用。除氣輸出功率約為? 700V×200mA。? 現階段，彎注抑制規是極高真空泵規中較好是的一種規型，特性平穩靠譜。在沒有極? 高真空泵校正系統標準下，大多數以彎注抑制規的讀值做為工作壓力標準值。? 彎注抑制規的電主要參數一般挑選為：加快工作電壓VA=200V;負極對地工作電壓VK? 25V;V
450V。Vc=Vsh=VE=0(地電位差)。鎢絲發送電流量? 340V: VD? 。=1mA;規管指數為0.15Pa-

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